看到这样一段话，觉得很有道理：
一个人最好的状态莫过于，眼里写满了故事，脸上却不见风霜，不羡慕谁，不嘲笑谁，也不依赖谁；只是悄悄地努力，吞下委屈，喂大格局，活成自己喜欢的样子。
生活不需要太多事参与，故事不需要讲给太多人听，一个人安安静静努力，慢慢靠近自己想要的生活，就足矣。
生活越来越舒服，人生越过越成熟，自己越活越坦然的六个迹象，来看看你中了几条？
1
第一，明白赚钱的重要性，但不把攒钱当作唯一目的。
你不必特别有钱，但一定不能特别缺钱。钱不是万能的，但手里多一点钱，真的能叫自己少吃些苦。
不过，我也希望你别把攒钱当作唯一目的，银行卡上的数字不应该成为你全部的安全感来源。
这世界上，除了柴米油盐，还有诗和远方的田野。不要总是低着头朝前走，偶尔停下脚步，抬头看看漫天的繁星，想想自己当下最期待的生活是什么样的，不要忘记自己的初心。
人只活一辈子，对自己不要太苛刻。在能力范围之内给自己更好的，也是对生命的一种馈赠。
2
第二，不害怕接近爱，也不盲目付出爱。
人活在世上，总免不了经历点头之交、擦肩陌路，相遇和离别每天都在上演。
以前总想着让认识的人都喜欢自己，想和更多的人成为朋友，但随着年岁渐长，越来越不愿意做一些违心的事。
待人友善是修养，独来独往是性格。你不懂我，我不怪你，淡然远之，各自安好就是。
不害怕与人相处，不惧于接受谁的好感和爱意，也不会因为年龄或一些本心之外的东西选择将就一段生活。
明白自己的感情很贵，不是谁都能给，如果不值得，那就算了。余生很贵，照顾好值得的人，不要将就，更别浪费。
3
第三，比起无聊的消遣，更愿意独处和读书。
看剧久了就有种消极的空虚感，网购多了也容易觉得生活无趣。很多快速的东西往往都很短暂，偷走了当下的时间，却不能在心里留下深刻的印象。
偶尔的放纵可以让人感到愉悦和放松，但如果把堕落当成一种快乐，时间久了，只会让自己越来越难于开始自律。
没事早点睡，有空多读书。一个人的时候别浮躁，沉下心去磨一磨自己的脾气和性子，在书里见天地，便能见众生，更见自我。
要让自己成为一块有棱角但不锋芒外露，有骨气但外表温凉柔润的美玉。
你读过的书、走过的路、爱过的人，都会成为你人生路上的指路牌。那些也许你已经忘记了的书里的片段，其实都在指引你前行的方向，它们一定会在未来的某一个时刻，帮助你表现得更出色。
4
第四，懂得自律才是自由的前提，并愿意为之付出努力。
看过这样一段话：生活中的不如意总比如意多，而对此的恪守、热情，恰恰也缘于自身的坚韧。时刻提醒自己，要自律，要保持内在的从容与安静。
无论在人生的哪个阶段都不能放弃成长，没有人能限制你人生的高度，只要你不让心受限，一切都有可能。
康德说：自律即自由。自律，就是要懂得隐忍和克制，放弃一些不重要的，坚持一些优秀的，而后才能成为自己想要的样子，获得真正的自由。
坚持一件能让自己变好的事的确不容易，打磨自己的过程也总是充满了艰难和迷茫，但只要你在朝前走，即使最后失败，也是最难能可贵的经历。
要相信，勇于大步向前走的人，总能够找到属于自己的亮光。
5
第五，有些事得过且过，有些人该放就放。
人生就像一条路，开始时，我们常因懵懂而无法抉择，待到结束前，回望一生又总觉得有诸多悔恨。
时光飞逝，我们必须抓紧今日，珍惜现在拥有的人和事，感恩生命馈赠的一切，得不到的不要去想它，已经失去的就赶紧放下吧。
有些事得过且过，有些人该忘就忘，别因为一时的失意就沉沦放纵，也别把悲伤和难过郁结在心里。
生活不易，但你可以为自己寻找出路。保持健康的身体，培养积极的心态，从每一个当下开始，期许新的生活。
6
最后，爱别人，也要爱自己。
无论遇见什么，人生都在照常运转；无论离开了谁，生活也不能停滞不前。
不懂得爱自己的人，就算把自己感动得痛哭流涕，也无法真正拥有别人的爱。
爱别人，也爱自己，才能为了开心而保持微笑，为了幸福而变得坚韧。
希望你也成为这样的人：
眼里长着太阳，笑里全是坦荡，余生漫漫，且行且成长。
一个人最好的状态莫过于，眼里写满了故事，脸上却不见风霜，不羡慕谁，不嘲笑谁，也不依赖谁；只是悄悄地努力，吞下委屈，喂大格局，活成自己喜欢的样子。
生活不需要太多事参与，故事不需要讲给太多人听，一个人安安静静努力，慢慢靠近自己想要的生活，就足矣。
生活越来越舒服，人生越过越成熟，自己越活越坦然的六个迹象，来看看你中了几条？
1
第一，明白赚钱的重要性，但不把攒钱当作唯一目的。
你不必特别有钱，但一定不能特别缺钱。钱不是万能的，但手里多一点钱，真的能叫自己少吃些苦。
不过，我也希望你别把攒钱当作唯一目的，银行卡上的数字不应该成为你全部的安全感来源。
这世界上，除了柴米油盐，还有诗和远方的田野。不要总是低着头朝前走，偶尔停下脚步，抬头看看漫天的繁星，想想自己当下最期待的生活是什么样的，不要忘记自己的初心。
人只活一辈子，对自己不要太苛刻。在能力范围之内给自己更好的，也是对生命的一种馈赠。
2
第二，不害怕接近爱，也不盲目付出爱。
人活在世上，总免不了经历点头之交、擦肩陌路，相遇和离别每天都在上演。
以前总想着让认识的人都喜欢自己，想和更多的人成为朋友，但随着年岁渐长，越来越不愿意做一些违心的事。
待人友善是修养，独来独往是性格。你不懂我，我不怪你，淡然远之，各自安好就是。
不害怕与人相处，不惧于接受谁的好感和爱意，也不会因为年龄或一些本心之外的东西选择将就一段生活。
明白自己的感情很贵，不是谁都能给，如果不值得，那就算了。余生很贵，照顾好值得的人，不要将就，更别浪费。
3
第三，比起无聊的消遣，更愿意独处和读书。
看剧久了就有种消极的空虚感，网购多了也容易觉得生活无趣。很多快速的东西往往都很短暂，偷走了当下的时间，却不能在心里留下深刻的印象。
偶尔的放纵可以让人感到愉悦和放松，但如果把堕落当成一种快乐，时间久了，只会让自己越来越难于开始自律。
没事早点睡，有空多读书。一个人的时候别浮躁，沉下心去磨一磨自己的脾气和性子，在书里见天地，便能见众生，更见自我。
要让自己成为一块有棱角但不锋芒外露，有骨气但外表温凉柔润的美玉。
你读过的书、走过的路、爱过的人，都会成为你人生路上的指路牌。那些也许你已经忘记了的书里的片段，其实都在指引你前行的方向，它们一定会在未来的某一个时刻，帮助你表现得更出色。
4
第四，懂得自律才是自由的前提，并愿意为之付出努力。
看过这样一段话：生活中的不如意总比如意多，而对此的恪守、热情，恰恰也缘于自身的坚韧。时刻提醒自己，要自律，要保持内在的从容与安静。
无论在人生的哪个阶段都不能放弃成长，没有人能限制你人生的高度，只要你不让心受限，一切都有可能。
康德说：自律即自由。自律，就是要懂得隐忍和克制，放弃一些不重要的，坚持一些优秀的，而后才能成为自己想要的样子，获得真正的自由。
坚持一件能让自己变好的事的确不容易，打磨自己的过程也总是充满了艰难和迷茫，但只要你在朝前走，即使最后失败，也是最难能可贵的经历。
要相信，勇于大步向前走的人，总能够找到属于自己的亮光。
5
第五，有些事得过且过，有些人该放就放。
人生就像一条路，开始时，我们常因懵懂而无法抉择，待到结束前，回望一生又总觉得有诸多悔恨。
时光飞逝，我们必须抓紧今日，珍惜现在拥有的人和事，感恩生命馈赠的一切，得不到的不要去想它，已经失去的就赶紧放下吧。
有些事得过且过，有些人该忘就忘，别因为一时的失意就沉沦放纵，也别把悲伤和难过郁结在心里。
生活不易，但你可以为自己寻找出路。保持健康的身体，培养积极的心态，从每一个当下开始，期许新的生活。
6
最后，爱别人，也要爱自己。
无论遇见什么，人生都在照常运转；无论离开了谁，生活也不能停滞不前。
不懂得爱自己的人，就算把自己感动得痛哭流涕，也无法真正拥有别人的爱。
爱别人，也爱自己，才能为了开心而保持微笑，为了幸福而变得坚韧。
希望你也成为这样的人：
眼里长着太阳，笑里全是坦荡，余生漫漫，且行且成长。
0526星期四 阴
赶回了单位的一天，好像就忙碌了很久的一个星期。日子好像步入了正轨，又好像是没有一样。只是希望每一天可以不要那么的难受，就像在经历一个非常非常难受的阶段。一边身体不适，一边不想工作，还会偶尔心情不佳。
0527 星期五 雨
下雨的一天，车子都是脏兮兮，去洗车都会变成白洗。回家有妈妈投喂的燕窝，放了蜂蜜都是甜甜的味道，大概下次可以去尝试下牛奶。喜欢可以窝在家里的感觉，喜欢偶尔懒洋洋什么都不要动的感觉。其实很多时候不喜欢，也总说很多情况无法避免，于是今天又借着机会好好聊了聊。虽然不知道能否改变什么，但是希望是有一点点改变都好吧。
0528 星期六 阴雨
早上有妈妈做的爱心早餐就很幸福，豆浆都没喝完就跑去盯卫生。真的是才发现家里很多东西都没有添置，被打扫过后就真的是干干净净的感觉。姐姐带着两个小孩子来热闹，小的呢就和后来的小伙子一开始是一片和谐，后来为了一个争得不可开交，又为了一个果冻争不停。小孩子的打打闹闹真的是可爱的治愈系。下午难得和妈妈去逛街买裤子，然后老板又给报销的一天，这点上还是挺不错的，每次都不会吝啬。我也是一直觉得男生就得大方一点点，才有该有的气度。当然，也不是一味的付出那种。晚上等了很久才知道也要值班，睡之前依旧翻江倒海的一天，后来怎么睡着的也忘记了。大概，还是舒服了一点点而已。
0529 星期日 雨转晴
早餐赶着吃了两口就送弟弟去学校，昨天晚上还主动给我看女朋友的照片。高考在即，也没有多说什么，希望他自己都能懂。来吃了一大碗水饺的，上午就安静的陪我坐在沙发上。朋友喊吃的串串火锅我都拒绝了，毕竟真的太上火不能吃。两个舅舅都来的一天，小舅满满一桌的大菜。下午去跟着拿了粽子，然后笑到不行的一次，两个人的斗嘴都有点可爱。忘记拿包的一天，记性差到怀疑人生。跟着去了单位，然后去送了粽子，去逛了公园。闷的不行还出了太阳，水果店坐着喝了椰子，搞笑的视频笑的眼泪都飙出来的一天。晚上又去不得已的酒局，总是让人一边不开心一边很担心。人情文化的发展，不能拒绝的一些场合，多希望有一天都不要出现酒局这种。
0530 星期一 阴晴
今天的日常，此刻的心情，一点点舒适的不舒服，大概是很难理解的一种感受。不停打嗝又没有完全出来，就像喝了可乐那种汽涌上来的感觉，实在是让人难受的那一种。忙碌的星期一，会担心太过密集的场合，闷热的天气担心下一秒又要晕过去。站久了就立马找地方坐一下，实在是不想再次晕倒，那会更加出名的那一种。同事大约察觉了我的不适，但是不喜欢她的那种眼神，斜视的让人不舒服。但是这个世界上，怎么样的人都存在，你无法去评论些什么，做好自己就好了。
赶回了单位的一天，好像就忙碌了很久的一个星期。日子好像步入了正轨，又好像是没有一样。只是希望每一天可以不要那么的难受，就像在经历一个非常非常难受的阶段。一边身体不适，一边不想工作，还会偶尔心情不佳。
0527 星期五 雨
下雨的一天，车子都是脏兮兮，去洗车都会变成白洗。回家有妈妈投喂的燕窝，放了蜂蜜都是甜甜的味道，大概下次可以去尝试下牛奶。喜欢可以窝在家里的感觉，喜欢偶尔懒洋洋什么都不要动的感觉。其实很多时候不喜欢，也总说很多情况无法避免，于是今天又借着机会好好聊了聊。虽然不知道能否改变什么，但是希望是有一点点改变都好吧。
0528 星期六 阴雨
早上有妈妈做的爱心早餐就很幸福，豆浆都没喝完就跑去盯卫生。真的是才发现家里很多东西都没有添置，被打扫过后就真的是干干净净的感觉。姐姐带着两个小孩子来热闹，小的呢就和后来的小伙子一开始是一片和谐，后来为了一个争得不可开交，又为了一个果冻争不停。小孩子的打打闹闹真的是可爱的治愈系。下午难得和妈妈去逛街买裤子，然后老板又给报销的一天，这点上还是挺不错的，每次都不会吝啬。我也是一直觉得男生就得大方一点点，才有该有的气度。当然，也不是一味的付出那种。晚上等了很久才知道也要值班，睡之前依旧翻江倒海的一天，后来怎么睡着的也忘记了。大概，还是舒服了一点点而已。
0529 星期日 雨转晴
早餐赶着吃了两口就送弟弟去学校，昨天晚上还主动给我看女朋友的照片。高考在即，也没有多说什么，希望他自己都能懂。来吃了一大碗水饺的，上午就安静的陪我坐在沙发上。朋友喊吃的串串火锅我都拒绝了，毕竟真的太上火不能吃。两个舅舅都来的一天，小舅满满一桌的大菜。下午去跟着拿了粽子，然后笑到不行的一次，两个人的斗嘴都有点可爱。忘记拿包的一天，记性差到怀疑人生。跟着去了单位，然后去送了粽子，去逛了公园。闷的不行还出了太阳，水果店坐着喝了椰子，搞笑的视频笑的眼泪都飙出来的一天。晚上又去不得已的酒局，总是让人一边不开心一边很担心。人情文化的发展，不能拒绝的一些场合，多希望有一天都不要出现酒局这种。
0530 星期一 阴晴
今天的日常，此刻的心情，一点点舒适的不舒服，大概是很难理解的一种感受。不停打嗝又没有完全出来，就像喝了可乐那种汽涌上来的感觉，实在是让人难受的那一种。忙碌的星期一，会担心太过密集的场合，闷热的天气担心下一秒又要晕过去。站久了就立马找地方坐一下，实在是不想再次晕倒，那会更加出名的那一种。同事大约察觉了我的不适，但是不喜欢她的那种眼神，斜视的让人不舒服。但是这个世界上，怎么样的人都存在，你无法去评论些什么，做好自己就好了。
镍钒溅射靶材的制备及应用探讨
#中诺新材##磁控溅射#
镍钒溅射靶材是在制备镍钒合金的过程中, 在镍熔体中加入钒, 使制备出的合金更有利于磁控溅射, 结合了镍溅射靶材和钒溅射靶材的优点. 随着社会的进步和半导体产业的发展, 电子及信息、 集成电路、 显示器等产业对镍钒靶材的需求量越来越大.
溅射靶材集中用于信息存储、 集成电路、 显示器、 汽车后视镜等产业, 主要用于磁控溅射各种薄膜材料. 磁控溅射是一种制备薄膜材料的方法, 利用离子源产生的离子, 在真空中加速聚集成高速离子流 , 被加速的粒子流轰击到待沉积薄膜的物体表面, 离子和待沉积薄膜的物体表面的原子发生动能交换, 在待沉积薄膜的物体表面沉积上了纳米 ( 或微米 ) 薄膜. 而被轰击的固体是用溅射法沉积薄膜的原材料 , 称为溅射靶材 .
在集成电路制作中一般用纯金作表面导电层, 但金与硅晶圆容易生成 AuSi 低熔点化合物, 导致金与硅界面粘结不牢固, 人们提出了在金和硅晶圆的表面增加一粘结层, 常用纯镍作粘结层, 但镍层和金导电层之间也会形成扩散, 因此需要再有一阻挡层, 来防止金导电层和镍粘结层之间的扩散. 阻挡层需要采用熔点高的金属, 还要承受较大的电流密度, 高纯金属钒能满足该要求 . 所以在集成电路制作中会用到镍溅射靶材、 钒溅射靶材、 金溅射靶材等.
镍钒溅射靶材是在制备镍钒合金的过程中, 在镍熔体中加入钒, 使制备出的合金更有利于磁控溅射, 结合了镍溅射靶材和钒溅射靶材的优点, 可一次完成溅射镍层( 粘结层) 和钒层( 阻挡层) . 镍钒合金无磁性, 有利于磁控溅射 . 在电子及信息产业中, 基本替代了纯镍溅射靶材.
镍钒合金靶材的特点及应用
镍钒合金靶材主要用于太阳能行业, 电子行业等领域.镍钒靶材的应用及要求的纯度如表 1 所示.
1)光存储 .
2) 太阳薄膜电池.
3) 平板显示器镀膜.
4) 电子及半导体领域.
5) 建筑玻璃.
镍钒合金溅射靶材的特性要求
溅射镍钒靶材要求纯度高、 杂质少, 化学成分均匀、无偏析, 无气孔, 晶粒组织均匀, 晶粒尺寸大小为微米级, 单个溅射靶材中要求晶粒尺寸尽量相差越小越好.这样在磁控溅射不容易产生放电现象, 磁控溅射薄膜均匀.
2. 1 纯度
溅射靶材首先是要纯度高, 因为溅射靶材中的杂质对磁控溅射薄膜的性能影响最大, 所以应尽可能降低溅射靶中杂质含量, 国内外很多半导体或电子产品制造企业对溅射靶材杂质含量提出很高要求.
2. 2 杂质含量
溅射靶材中的杂质要求严格, 镍钒合金溅射靶材中 Cr、Al、 Mg 杂质的含量不超过 10ppm, 超过 10ppm, 腐蚀性能变差. U、 Th 的含量不超过 1 ppb,Pb 和 Bi 的含量小于0.1 ppb, 超过这个含量, 对电子电荷产生不良影响, 将会发生故障. N 含量在 1 -1 00ppm 之间, N 含量增加, 腐蚀性能差, 所以要严格控制杂质的含量.
2. 3 密度
溅射靶材对内部气孔要求很严格, 因为靶材中气孔会影响溅射薄膜的各方面性能, 磁控溅射过程中产生不正常放电, 会对磁控溅射薄膜光电学性能有影响. 因此要求靶材有较高的密度. 此外, 高密度、 高强度溅射靶材更能承受磁控溅射中产生的热应力.镍钒溅射靶材制备工艺一般分为粉末冶金法和熔炼法. 粉末冶金法制备的溅射靶材, 气孔数量多, 密度低. 熔炼方法分为普通熔炼法和真空熔炼. 普通熔炼法, 在熔炼过程中,大气中的气体很容易进入熔体, 造成熔炼的铸锭气体含量不能满足溅射靶材要求. 所以镍钒溅射靶材合金制备一般采用真空熔炼法, 可确保材料内部无气孔.
2. 4 晶粒尺寸及晶粒尺寸分布
镍钒靶材需要经过多道次冷热加工工序, 制备好的靶坯为多晶结构, 晶粒尺寸大小要求严格, 晶粒应控制在100微米以内. 从溅射性能方面考虑, 对于化学成分相同的磁控溅射靶材, 晶粒细小比晶粒大的溅射速率快, 同时靶材内部晶粒越均匀, 溅射到带硅晶圆上的薄膜厚度越均匀.
镍钒合金靶材的制备
镍钒合金中, 钒的量稍微改变, 都会很明显的改变镍钒合金的性能. 从而使得 Ni-V 合金不能够经过后续加工获得溅射靶材, 典型的镍钒合金成分是 Ni-7V. 生产高纯Ni-V 合金, 其关键在于:
1 ) 必须用高品位的金属原料镍和钒, 纯度必须在 99.95wt% 以上 , 其中镍原料的纯度达到4N5( 99.995wt%) 甚至 5N 都没问题, 但是钒原料的纯度一般只有 2N5-3N( 99.5wt%-99.9wt%), 钒的纯度限制了镍钒合金的纯度.
2)钒熔点 1 91 9± 2℃, 属于难熔金属, 并且镍、 钒熔点相差很大 ( 约 336℃ ), 所以采用一般的熔炼方法很难制备出成分均匀的靶材用铸锭. 在特殊的应用领域, 首先需将镍、钒用真空熔融方法( 电子束或真空电弧重熔( VAR) 或真空感应熔炼 (VIM)) 获得铸锭, 经过多次重复真空熔炼提高合金铸锭的总纯度;
3) 制备过程严格控制杂质元素的引入. 图 1 是镍钒合金生产工艺流程图.
#中诺新材##磁控溅射#
镍钒溅射靶材是在制备镍钒合金的过程中, 在镍熔体中加入钒, 使制备出的合金更有利于磁控溅射, 结合了镍溅射靶材和钒溅射靶材的优点. 随着社会的进步和半导体产业的发展, 电子及信息、 集成电路、 显示器等产业对镍钒靶材的需求量越来越大.
溅射靶材集中用于信息存储、 集成电路、 显示器、 汽车后视镜等产业, 主要用于磁控溅射各种薄膜材料. 磁控溅射是一种制备薄膜材料的方法, 利用离子源产生的离子, 在真空中加速聚集成高速离子流 , 被加速的粒子流轰击到待沉积薄膜的物体表面, 离子和待沉积薄膜的物体表面的原子发生动能交换, 在待沉积薄膜的物体表面沉积上了纳米 ( 或微米 ) 薄膜. 而被轰击的固体是用溅射法沉积薄膜的原材料 , 称为溅射靶材 .
在集成电路制作中一般用纯金作表面导电层, 但金与硅晶圆容易生成 AuSi 低熔点化合物, 导致金与硅界面粘结不牢固, 人们提出了在金和硅晶圆的表面增加一粘结层, 常用纯镍作粘结层, 但镍层和金导电层之间也会形成扩散, 因此需要再有一阻挡层, 来防止金导电层和镍粘结层之间的扩散. 阻挡层需要采用熔点高的金属, 还要承受较大的电流密度, 高纯金属钒能满足该要求 . 所以在集成电路制作中会用到镍溅射靶材、 钒溅射靶材、 金溅射靶材等.
镍钒溅射靶材是在制备镍钒合金的过程中, 在镍熔体中加入钒, 使制备出的合金更有利于磁控溅射, 结合了镍溅射靶材和钒溅射靶材的优点, 可一次完成溅射镍层( 粘结层) 和钒层( 阻挡层) . 镍钒合金无磁性, 有利于磁控溅射 . 在电子及信息产业中, 基本替代了纯镍溅射靶材.
镍钒合金靶材的特点及应用
镍钒合金靶材主要用于太阳能行业, 电子行业等领域.镍钒靶材的应用及要求的纯度如表 1 所示.
1)光存储 .
2) 太阳薄膜电池.
3) 平板显示器镀膜.
4) 电子及半导体领域.
5) 建筑玻璃.
镍钒合金溅射靶材的特性要求
溅射镍钒靶材要求纯度高、 杂质少, 化学成分均匀、无偏析, 无气孔, 晶粒组织均匀, 晶粒尺寸大小为微米级, 单个溅射靶材中要求晶粒尺寸尽量相差越小越好.这样在磁控溅射不容易产生放电现象, 磁控溅射薄膜均匀.
2. 1 纯度
溅射靶材首先是要纯度高, 因为溅射靶材中的杂质对磁控溅射薄膜的性能影响最大, 所以应尽可能降低溅射靶中杂质含量, 国内外很多半导体或电子产品制造企业对溅射靶材杂质含量提出很高要求.
2. 2 杂质含量
溅射靶材中的杂质要求严格, 镍钒合金溅射靶材中 Cr、Al、 Mg 杂质的含量不超过 10ppm, 超过 10ppm, 腐蚀性能变差. U、 Th 的含量不超过 1 ppb,Pb 和 Bi 的含量小于0.1 ppb, 超过这个含量, 对电子电荷产生不良影响, 将会发生故障. N 含量在 1 -1 00ppm 之间, N 含量增加, 腐蚀性能差, 所以要严格控制杂质的含量.
2. 3 密度
溅射靶材对内部气孔要求很严格, 因为靶材中气孔会影响溅射薄膜的各方面性能, 磁控溅射过程中产生不正常放电, 会对磁控溅射薄膜光电学性能有影响. 因此要求靶材有较高的密度. 此外, 高密度、 高强度溅射靶材更能承受磁控溅射中产生的热应力.镍钒溅射靶材制备工艺一般分为粉末冶金法和熔炼法. 粉末冶金法制备的溅射靶材, 气孔数量多, 密度低. 熔炼方法分为普通熔炼法和真空熔炼. 普通熔炼法, 在熔炼过程中,大气中的气体很容易进入熔体, 造成熔炼的铸锭气体含量不能满足溅射靶材要求. 所以镍钒溅射靶材合金制备一般采用真空熔炼法, 可确保材料内部无气孔.
2. 4 晶粒尺寸及晶粒尺寸分布
镍钒靶材需要经过多道次冷热加工工序, 制备好的靶坯为多晶结构, 晶粒尺寸大小要求严格, 晶粒应控制在100微米以内. 从溅射性能方面考虑, 对于化学成分相同的磁控溅射靶材, 晶粒细小比晶粒大的溅射速率快, 同时靶材内部晶粒越均匀, 溅射到带硅晶圆上的薄膜厚度越均匀.
镍钒合金靶材的制备
镍钒合金中, 钒的量稍微改变, 都会很明显的改变镍钒合金的性能. 从而使得 Ni-V 合金不能够经过后续加工获得溅射靶材, 典型的镍钒合金成分是 Ni-7V. 生产高纯Ni-V 合金, 其关键在于:
1 ) 必须用高品位的金属原料镍和钒, 纯度必须在 99.95wt% 以上 , 其中镍原料的纯度达到4N5( 99.995wt%) 甚至 5N 都没问题, 但是钒原料的纯度一般只有 2N5-3N( 99.5wt%-99.9wt%), 钒的纯度限制了镍钒合金的纯度.
2)钒熔点 1 91 9± 2℃, 属于难熔金属, 并且镍、 钒熔点相差很大 ( 约 336℃ ), 所以采用一般的熔炼方法很难制备出成分均匀的靶材用铸锭. 在特殊的应用领域, 首先需将镍、钒用真空熔融方法( 电子束或真空电弧重熔( VAR) 或真空感应熔炼 (VIM)) 获得铸锭, 经过多次重复真空熔炼提高合金铸锭的总纯度;
3) 制备过程严格控制杂质元素的引入. 图 1 是镍钒合金生产工艺流程图.
✋热门推荐