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荷兰阿斯麦(ASML)是全球唯一一家高端光刻机制造商，每年仅出20台左右高端设备，每一台都被台积电和三星等大型芯片代工厂抢破了头。该公司日前已经推出了一种全新的半导体技术第一代HMI多光束检测机，可用于5nm及更先进制程工艺，有望让5nm芯片产能暴涨600%。上海微电子是国内技术最领先的光刻设备厂商。目前公司IC前道光刻机水平与ASML差距明显，但是不断取得阶段性的成果，已经实现90 nm制程。
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