【成果分享】
近日，华东师范大学吴幸教授、新加坡科技与设计大学Kin-Leong Pey教授联合北京大学黎明研究员，在高起点新刊Electron共同发表题为先进Si/SiGe异质结构的透射电镜原子尺度应变分析（Atomic-scale strain analysis for advanced Si/SiGe heterostructure by using transmission electron microscopy）的综述文章。

文章指出，基于Si/SiGe异质结的三维堆叠晶体管是未来集成电路中低功耗、高性能计算的潜在候选器件。观测和准确测量Si/SiGe异质结的应变对于提高载流子迁移率和改善器件性能至关重要。透射电子显微镜（TEM）具有高空间分辨率和分析能力，为原子尺度应变测量提供了技术支持，促进了应变映射技术的重大进展。文章综述了基于TEM技术的先进Si/SiGe异质结的原子尺度应变分析方法。从空间分辨率、应变精度、视场、基准位置和数据处理等方面对会聚束电子衍射（CBED）、纳米束电子衍射（NBED）、暗场电子全息术（DFEH）和几何相位分析（GPA）的高分辨率TEM进行了全面的讨论。总结了这些基于TEM技术的应变分析方法的优点和关键问题，并展望了TEM技术在相关领域的发展方向。

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论文信息：
Li L, Bi R, Dong Z, et al. Atomic‐scale strain analysis for advanced Si/SiGe heterostructure by using transmission electron microscopy. Electron. 2024; e32. https://t.cn/A6THuIqG

#学术期刊##华东师范大学##新加坡科技与设计大学##电子器件#

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2024/4/19 20:15:47
　　和他生活在一起的日子，如梦如幻。当我从一个不更事的少女变成一个家庭主妇的时候，我不住的回首来时的路，缅怀年少时的纯真和完美。越缅怀就越想描画未来的人生。可是我也知道，梦中的婚礼不可能在他刚起步的事业期完成，但我依然默默的等待。

俩小宝都是二十出头的年纪，未来还有很长很远的路要走，各自也有不同的性格和成长背景，这么想来确实不必纠结当下到底是什么相处模式和定性关系，过度解读过分揣测实属闲出屁。我始终坚信AL是绝配顶配天仙配，命中注定的气场是骗不了人的，至于未来就交给时间去证明，无论是时刻陪伴在彼此身侧还是各有发展，cpf都会默默支持，静待花开。